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干涉測量法的原理

激光
激光輸出可被視為正弦光波.

口.口從激光頭射出的光波有三個(gè)關(guān)鍵特性:
口.口波長精確己知.能夠?qū)崿F(xiàn)精確測量
口.口波長很短、 能夠?qū)崿F(xiàn)精密測量或高分辨率測量
口.口所有光波均為同相、 能夠?qū)崿F(xiàn)干涉條紋

口兩種模式的強(qiáng)度用光敏二極管測量. 通過加熱器控制激光管長度采實(shí)現(xiàn)平衡
口這使激光穩(wěn)頻精度保持在土口0.05口ppm以內(nèi)
口激光實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定輸出后、 即可用于進(jìn)行干涉測量

口一個(gè)角錐反射鏡緊緊固定在分光鏡上.形成固定長度參考光束。另一個(gè)角錐反射鏡相對于分光鏡移動(dòng).形成變化長度測量光束。
口從激光頭射出的激光光束0(1愿有單一頻率.標(biāo)稱波長為0.633m、長期波長穩(wěn)定性(真空中)優(yōu)于0.05ppm。當(dāng)此光束到達(dá)偏振分光鏡時(shí).被分成兩束光口一飯射光束0(2)和透射光束口(3)口這兩束光被傳送到各自的角錐反射鏡中，然后反射回分光鏡中.在嵌于激光頭中的探測器中形成干涉光束。
口如果兩光程差不變化.探測器將在相長干涉和相消干涉的兩端之間的某個(gè)位置觀察到一個(gè)穩(wěn)定的信號。

口如果兩光程差發(fā)生變化.每次光路變化時(shí)探測器都能觀察到相長干涉和相消干涉兩端之間的信號變化。這.些變化(條紋)被數(shù)出來.用于計(jì)算兩光程差的變化。測量的長度等于條紋數(shù)乘以激光波長的一半。應(yīng)當(dāng)注意到，激光波長將取決于光束經(jīng)過的空氣的折射率。由于空氣折射率會(huì)隨著氣溫、壓力和相對濕度的變化而變化.用于計(jì)算測量值的波長值可能需要對這些環(huán)境參數(shù)的變化進(jìn)行補(bǔ)償。在實(shí)踐中.對于技術(shù)指標(biāo)中的測量精度.只有線性位移(定位精度)測量需要進(jìn)行此類補(bǔ)償.在這種情況下兩束光的光程差變化可能非常大。

激光系統(tǒng)應(yīng)用：