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API Xd激光干涉儀（測量六項(xiàng)誤差參數(shù)）

Xd激光干涉儀是wei一一個(gè)可以在一次設(shè)置中同時(shí)測量所有6個(gè)誤差參數(shù)的評(píng)估系統(tǒng)。一次安裝能夠同時(shí)測量線性軸的六個(gè)誤差，包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測試，使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成，實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明，節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。該儀器體積小，重量輕，可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。

主要特點(diǎn)：

1. 同時(shí)測量線性定位誤差、直線度誤差（雙軸）、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角 
2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器 
3. 可選的無線遙控傳感器長的控制距離可到25米 
4. 可測量速度、加速度、振動(dòng)等參數(shù)，并評(píng)估機(jī)床動(dòng)態(tài)特性。 
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤，設(shè)計(jì)緊湊、體積小，測量機(jī)床時(shí)不需三角架 
6. 集成干涉鏡與激光器于一體，簡化了調(diào)整步驟，減少了調(diào)整時(shí)間

準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)采集：
      實(shí)時(shí)的誤差測量確保了數(shù)據(jù)采集的正正確性以及高精度的誤差分析自動(dòng)的數(shù)據(jù)采集技術(shù)，簡化了數(shù)據(jù)采集的過程。

激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì)有一個(gè)探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉（見圖）。若光程差沒有變化時(shí)，探測器會(huì)在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號(hào)。 
    若光程差有變化時(shí)，探測器會(huì)在每一次光程變化時(shí)，在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號(hào)，這些變化會(huì)被計(jì)算并用來測量兩個(gè)光程之間的差異變化。

應(yīng)用：

XD Laser被來自世界名地的API用戶用于：
、CMMICNC的校準(zhǔn)、補(bǔ)償
、機(jī)床導(dǎo)軌平行度的測量
、旋轉(zhuǎn)額的測量
、垂直度的測量
、對(duì)角線的測量
、CNC反饋
、機(jī)器人位置反饋

API XD干涉儀線性定位誤差的測量方法:
¾ 一次安裝也可同時(shí)測量其它五個(gè)參數(shù);
¾ 可利用電腦中的直線度實(shí)時(shí)顯示,
數(shù)字化去除余弦差，測量準(zhǔn)確;
¾ 兩點(diǎn)調(diào)光，對(duì)光迅速

直線度測量— API XD的方法

應(yīng)用良好的PSD技術(shù)：光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點(diǎn)位置轉(zhuǎn)化為電信號(hào))

¾ 不怕斷光，可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試(類似于自準(zhǔn)直儀)
¾ 對(duì)直線度進(jìn)行1:1的測量
¾ 可一次性安裝, 與線性誤差一起測量, 方便, 快速

垂直度測量— API XD的方法

¾ API XD激光干涉儀是通過PSD技術(shù)1:1進(jìn)行直線度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時(shí)只需一個(gè)五角棱鏡既可，無需其他鏡組. 裝/調(diào)非常方便快速
¾ 在測兩軸的垂直度的同時(shí)，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，大大節(jié)省了測量所占用機(jī)床的時(shí)間，也可避免人為差錯(cuò)。

偏擺角/俯仰角測量 — API XD的方法

¾ 良好的PSD技術(shù)來測量小角度: 當(dāng)入射光經(jīng)分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無角度變化，則光線經(jīng)透鏡聚在焦點(diǎn)上；如果軸有角度變化，則光線會(huì)在焦平面上的PSD光靶上得到兩個(gè)方向的坐標(biāo)值，從而與焦距比較得出角度值。
¾ 測量角度過程中不怕斷光, 可用于導(dǎo)軌的安裝調(diào)試
¾ 不受滾動(dòng)角的影響，調(diào)整光路容易