API公司XD系列激光干涉儀各項(xiàng)參數(shù) API公司XD系列激光干涉儀的各項(xiàng)參數(shù)(線性、直線度、角度)都是溯源到國(guó)家和標(biāo)準(zhǔn)上的。同時(shí)測(cè)量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動(dòng)角。
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